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    x-ray测厚仪
    发布日期:2015-02-11 17:04:55 作者:无锡华友微电子有限公司

    一、程序
        1、开机步骤:打开计算机显示器、打印机,然后打开测厚仪开关,启动FIM软件。   

        2、关机步骤退出FIM软件,关闭测厚仪,关闭计算机,显示器、打印机,关闭总电源。
        3、打开仪器后必须进行不少于30分钟的仪器预热。
        4、将样品放在测量台上,调整焦距选择合适的产品程式对样品进行测量。

    二、注意事项:
        1、注意样品的放置原则和对底材的“校正”和“修正”等事项。       

        2、每星期应做一次基准测量。
        3、保持仪器的清洁,做好仪器的维护和保养工作。

     program

    1, boot steps: open the computer monitors, printers, and then open the thickness gauge switch,start up the FIM software.

    2, shutdown procedure exit FIM software, close the thickness gauge, turn off the computer, monitor,printer, shut off the main power supply.

    3, open the instrument must be not less than the instruments to warm up 30 minutes.

    4, placing the sample on the measurement table, adjust the focus to select products formeasurement of the sample program.

    In two, the matters needing attention:

    1, pay attention to the principle of placing samples and to the substrate "correction" and"correction" and other matters.

    2, every week should be a reference measurement.

    3, keep equipment clean, do a good job of equipment maintenance and maintenance work.



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